Le Top down
La lithographie est une étape cruciale puisqu'elle détermine la taille du motif réalisé, en microelectronique on utilise la lithographie optique qui permet de reproduire l'ensemble du motif en une seule exposition.
Néanmoins sa résolution est repoussée, on utilise pour améliorer la résolution la lithographie électronique qui permet de focaliser un faisceau d'électron sur un diamètre inférieur au manomètre et les électrons cassent alors les chaînes polymeriques qui les rends plus solubles dans un révélateur.
la lithographie ionique basée sur des faisceaux d'ions permet de structurer directement la matière par exemple en l'érodant, on utilise dans les laboratoires des nano-impression qui utilisent des moules. on utilise aussi des micro pointes du type utilisé dans le microscope à force atomique.
Le Bottom-up
Croiser des physiciens,des chimistes et de biologiste c'est aussi une technologie de pointe, dans les croissances epitaxiale, le matériau déposé n'est pas reparti en couche uniforme comme le cas habituel mais se fragmente spontanément. Cela se produit quand il y a désaccord de maille entre le matériau déposé et le substrat, la fragmentation résultant d'une réduction de l'énergie élastique due au désaccord de maille, au profit d'une augmentation de l'énergie de surface.
Cette technique est employée pour réaliser des boites quantiques qui peut servir dans les mémoires électroniques à un électron ou des sources de photon unique.
Par synthèse chimique on peut fabriquer des composants électroniques ou édifices moléculaires c'est l'électronique moléculaire.
La biologie peut fabriquer les nanomoteurs moléculaires selon des mécano moléculaires.