Les principaux procédés sont les dépôts de couches minces, lithographie, gravure, ainsi que d'autres transformations fines à l'état solide, oxydation, diffusion, et implantation ionique.
Une structure peut être réalisé dans un matériau la silice que l'on dépose par couche mince grâce à une technique de dépôt chimique en phase vapeur. Par la lithographie, un film en polymere photosensible est déposé à la surface de la plaque, séché, puis exposé au UV à travers un masque suite à une réaction photochimique, les parties exposées de la résines devient soluble et révéler par la suite par un révélateur.
La résine est protégé par ce qui reste de la résine et on place de l'acide fluorhydrique qui grave la silice mai n'attaque pas le masque de résine, on peut donc faire plusieurs fois ce procédé ou de finir par le dépôt de métal pour l'électrode
Les différents procèdes industriels
Une première catégorie est le dépôt de couches minces de matériaux électriques ou de métaux, afin de constituer des régions isolantes ou des contacts électriques.
La deuxième catégorie de procédés est la gravure qui consiste à placer la plaque dans un milieu réactif pour enlever de la matière de manières sélectives.
La troisième catégorie de procèdes réalisent des transformations du matériau directement de l'état solide, ce sont les procèdes d'oxydation, de diffusion et d'implantation ionique.